上海广川科技有限公司

广川科技成立于2019年4月，是由机器人四大家族之一的安川电机（日本上市公司）和沈阳富创精密机械设备股份有限公司（科创板上市企业，代码688409）共同组建的合资公司。公司的核心技术源自日本安川电机，其主要产品包括半导体行业的晶圆分选设备（Sorter/EFEM）、半导体晶圆传输大气机器人以及真空机器人等。公司产品主要面向国内一流的半导体设备企业，为光刻、刻蚀、PVD、CVD、检测等半导体制造环节提供自动化解决方案，服务的主要客户包括中微公司（代码688012）、盛美半导体（代码688082）、拓荆科技（代码688072）、芯源微电子（代码688037）和华海清科（代码688120）等。

广川科技是上海市高新技术企业，拥有一支由日本半导体行业专家和国内高水平本土研发人员组成的团队，在洁净机器人技术、高精度伺服控制和真空系统分析等领域处于全球领先地位，是国内在半导体传输技术研发与产业化方面领先的公司之一。公司位于上海市宝山区高新技术产业园区，距离市区仅20公里，交通便捷，周边有多个地铁站，包括7号线的上海大学站、11号线的南翔站和15号线的丰翔路站。