浙江芯晖装备技术有限公司

公司简介
芯晖装备创立于2018年，专注于半导体专用设备的研发、生产与销售，是高新技术企业。公司聚焦半导体装备及核心部件的国产化研发与制造，自主研发的晶体生长、研磨抛光、光学量测、化学检测、芯片测试等设备，已广泛应用在半导体集成电路制造的前、中、后道工艺。

芯晖装备将不断为半导体行业客户提供创新技术与产品解决方案，秉持客户导向、创新拼搏、追求卓越、协作共赢的理念，致力于成为值得信赖的半导体装备与方案提供商，打造在高端半导体智能装备领域备受尊敬的企业，助力“中国芯”发展，实现持续创新。

发展历程
2018年4月：浙江芯晖装备技术有限公司成立
2018年9月：公司基地【欣晖半导体产业园】奠基

2019年7月：西安芯晖设备技术有限公司成立

2020年5月：一代200mm研磨/200mm抛光/300mm抛光设备开发成功
2020年12月：国内首台电子级单晶炉研发成功；二代300mm抛光设备开发成功

2021年3月：浙江芯晖检测技术有限公司成立，第一台磨抛/测试设备顺利交付客户
2021年7月：12英寸硅单晶炉客户验证通过（PCN验证）
2021年12月：首台铜雾离子检测设备交付客户验证

2022年3月：一代300mm研磨设备开发成功；一代150mm SiC研磨设备交付客户
2022年12月：ADS首台客户验证通过；晶圆金属污染检测设备交付客户验证；12英寸硅单晶炉年产突破20台

2023年2月：北京芯晖技术有限公司成立
2023年9月：上海芯晖芯智技术有限公司成立

企业文化
使命：创新改变世界
愿景：值得信赖的半导体装备与方案提供商
价值观：以客户为中心、以技术为基石、以品质为生命、以成果为导向、以奋斗者为本、以自省促卓越
经营管理原则：诚信、规范、透明、负责