中微半导体设备

中微半导体设备（上海）股份有限公司（证券简称“中微公司”）是中国的一家面向全球的微观加工高端设备公司，致力于为集成电路和泛半导体行业提供具有竞争力的高端设备和高质量服务。公司业务范围涵盖薄膜制造设备和等离子体刻蚀设备的研发。